QUADRANT ENGINEERING PLASTIC PRODUCTS PRÄSENTIERT NEUE MATERIALGENERATION FÜR DIE HALBLEITERFERTIGUNG UND FÜR PRÜFANWENDUNGEN

K 2004 – Quadrant Engineering Plastic Products (QEPP) hat vier neue Produkte entwickelt, die zur Steigerung der Lebensdauer und Zuverlässigkeit von Anwendungen in der chemisch-mechanischen Planarisierung (CMP) sowie in Prüf- und Handhabungskomponenten beitragen. Ausserdem stellt das Unternehmen die Vorserie eines neuen hochreinen Kunststoffs im begrenzten Umfang für Gemeinschaftsentwicklungsprojekte zur Verfügung. Die Serienproduktion des neuen Kunststoffs ist für Mitte 2005 geplant.

Die Produkte des weltweit führenden Anbieters von technischen Kunststoffen für feinst bearbeitete Komponenten sind als Halbzeuge erhältlich.

Anlässlich der Präsentation der neuen Materialien sagte der Leiter der Halbleitersparte Fred Sanford: “Seit Jahren haben Ingenieure mit uns an der Weiterentwicklung von Materialien gearbeitet, die zu einer Steigerung der Lebensdauer und Zuverlässigkeit, sowie zu einer Senkung der Kosten beitragen. Wir freuen uns, unserem ständig wachsenden Produkt-sortiment jetzt eine neue Materialgeneration hinzufügen zu können, die eben diese Anforderungen erfüllt.”

Zwei der neuen Materialien wurden speziell für in der chemisch-mechanischen Planarisierung (CMP) eingesetzte Halteringe entwickelt, deren Haltbarkeit ein wichtiger Kostenfaktor ist:

Semitron® CMP LL5 ist ein verbessertes Polyestermaterial mit speziell auf die Anforderungen der Halbleiterindustrie abgestimmten Material- und Verschleisseigenschaften. In Laborversuchen zeigten Halteringe aus Semitron CMP LL5, je nach Verfahrens-bedingungen, eine fünfmal längere Haltbarkeit als herkömmliche PPS-Ringe. Als kosten-günstige Alternative zu PPS-Produkten eignet sich das Material für sämtliche CMP-Verfahren und insbesondere für stahl- oder keramikverstärkte Ringtypen.

Semitron® CMP XL20 ist ein modifiziertes Polyamidimidmaterial, dessen Haltbarkeit die aller anderen technischen Kunststoffe in sämtlichen wichtigen Verfahrensumgebungen signifikant, und die konventioneller PPS-Ringe sogar um bis das 20-fache übersteigt. Semitron CMP XL20 verbindet in optimaler Weise eine hohe Verschleissfestigkeit mit den in anspruchsvollen Verfahrensumgebungen verlangten mechanischen Eigenschaften. “Semitron CMP XL20,” so Sanford, “ist das ideale Material für sehr anspruchsvolle Anwendungen. Es ist der Material-standard der nächsten Generation, und es ist heute bereits erhältlich.”

Sanford kündigte daneben noch zwei weitere Esd-Materialien speziell für Prüf- und Handhabungsgeräte an, bei denen eine gute statische Isolierung wichtig ist:

Semitron ESd 420V ist ein verstärktes Polyetherimid-(PEI)-Material, das eine deutlich höhere Gesamtstabilität bietet als das aktuelle PEI-basierte Esd-Produkt des Unternehmens. Daneben besitzt das neue Material einen spezifischen Oberflächenwiderstand von 106 bis 109°C. Mit einer Wärmefestigkeitsgrenze von 215°C stellt das Material eine kostengünstige und hochfeste Alternative zu anderen hochtemperaturfesten Materialien dar.

Semitron ESd 480 wurde speziell für Anwendungen entwickelt, bei denen eine hohe Temperaturbeständigkeit gefordert ist. Das neue verstärkte Polyetheretherketon-(PEEK)-Material besitzt einen spezifischen Oberflächenwiderstand von 106 bis 109°C, und eine Wärme-festigkeitsgrenze von 250°C. Dank ihrer Chemikalienbeständigkeit eignen sich PEEK-basierte Produkte besonders für Anwendungen in Nassverfahrenswerkzeugen, von denen eine gute statische Ableitung verlangt wird.

“Ein wesentlicher Vorteil von Semitron ESd 420V und 480 besteht in ihrer hohen dielektrischen Stabilität auch bei wiederholter Hochspannungsbelastung,” so Dr. Richard W. Campbell, der Leiter der Produktentwickung bei Quadrant. “Die meisten konventionellen kohlefaserverstärkten Produkte werden bereits beim Kontakt mit relativ niedrigen Spannungen irreversibel stärker leitend, und können so den Wafer oder das Gerät nicht mehr wirkungsvoll vor elektrostatischer Entladung schützen,” so Campbell weiter.

Das Unternehmen gab zudem bekannt, dass es derzeit einen hochreinen Kunststoff entwickelt, dessen Markteinführung f

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Hinweise für Redakteure

Quadrant Engineering Plastic Products (QEPP) ist weltweit führend in der Herstellung von technischen Kunststoff-Halbzeugen (Stäbe, Platten, Röhren) für die spanende Bearbeitung. Darüber hinaus stellt QEPP kundenspezifische Nylonguss- und Fertigteile her. QEPP bietet bezüglich Materialien und Abmessungen das umfassendste Sortiment an Standard- und spezifischen Halbzeugen für die spanende Bearbeitung, und vertreibt seine Produkte über ein weltweites Netz von eigenen Niederlassungen, technischen Kundendienstzentren und autorisierten Vertriebspartnern.

Die Quadrant Gruppe ist ein global führender Hersteller von thermoplastischen Hochleistungswerkstoffen in Form von Halbzeugen und Fertigteilen. Diese Materialien und Composites sind Metallen und anderen Werkstoffen bezüglich ihres Leistungsprofils in Anwendungen überlegen, die Quadrant zusammen mit Marktführern aus verschiedensten Industrien in wachsender Zahl entwickelt.

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