6 Jun 2007
QUADRANT EPP FÜHRT NÄCHSTE GENERATION VON MATERIALIEN FÜR DIE HALBLEITERFERTIGUNG EIN
Tielt, Belgien – Juni 2007 – Innovative Materialien von Quadrant Engineering Plastic Products (Quadrant EPP) ermöglichen längere Produktionszyklen beim chemisch-mechanischen Polieren (oder Planarisieren, CMP) von Halbleiter-Wafern: Semitron® CMP LL5 und Semitron® CMP XL20 bieten das 5- bis 20-fache der Standzeiten von Materialien, die bisher zur Fertigung wichtiger Halteringe für die Waferproduktion eingesetzt wurden.
Beide Materialien sind als rohrförmiges Halbzeug zur spanenden Bearbeitung der CMP-Ringe lieferbar, die sehr enge Toleranzen einhalten müssen.
„Nach seiner Entwicklung vor fast 15 Jahren etablierte sich Techtron® PPS als Standardmaterial für langlebige CMP-Ringe,“ so Fred Sanford, Business Manager für die neuen Produkte bei Quadrant EPP. „Gemeinsam mit Ingenieuren der Branche suchten wir jedoch nach Materialien, um die Standzeiten bis zur Wartung und zum Ringwechsel deutlich zu verlängern. Resultat sind zwei neue Semitron® Typen, von denen der eine die Kosten der sonst aus PPS hergestellten Verschleißringe halbieren und die produktive Nutzdauer verfünffachen kann, während der andere die Standzeit der CMP-Ringe bis auf das 20-fache erhöht.“
Semitron® CMP XL20 basiert auf einem modifizierten Polyamidimid und übertrifft hinsichtlich seiner Lebensdauer in allen größeren Fertigungsprozessen sämtliche anderen technischen Kunststoffe. So hält es bis zu 20 Mal länger als Polyphenylensulfid. „Semitron® CMP XL20,“ sagt Sanford, steht an der Spritze der Materialtechnologie für optimale Dauerleistung, Produktivität und Betriebskosten. Es ist das Standardmaterial der Zukunft in diesem Einsatzbereich – und schon heute verfügbar.“
Die Erprobung von Semitron® CMP XL20 unter Produktionsbedingungen begann im Jahr 2006 gemeinsam mit Ausrüstern und Wafer-Fabs. Die Ergebnisse bestätigen die in den Labors von Quadrant zuvor ermittelten, längeren Standzeiten gegenüber anderen Materialien. Dies und Konstruktionsverbesserungen haben die mittleren Wartungsintervalle in einem Wafer-Werk drastisch verlängert und zu signifikanten Kosteneinsparungen pro Wafer und Werkzeug geführt.
Semitron® CMP LLP basiert auf einem optimierten Polyester. Laborsimulationen zeigen, dass es die Ringlebensdauer gegen PPS bis um das Fünffache verlängert. Es ist kostengünstiger als traditionelles PPS, eignet sich für alle CMP-Verfahren und ist ideal für Ringkonstruktionen mit Stahl- oder Keramikverstärkung. Semitron® CMP LLP hat sich angesichts der Lieferengpässe bei PPS-basierten Produkten zu einem bevorzugten Material für 200 mm-Ringe entwickelt. Es bietet wesentlich längere Standzeiten und Kosteneinsparungen in gängigen Oxidprozessen.
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Über Quadrant EPP
Quadrant Engineering Plastic Products (Quadrant EPP) ist weltweit führend in der Herstellung von technischen Kunststoffhalbzeugen (Stäbe, Platten, Rohre) zur spanenden Bearbeitung. Darüber hinaus stellt Quadrant EPP kundenspezifische Nylonguss- und Fertigteile her. Im Hinblick auf Materialien und Abmessungen bietet Quadrant EPP das umfassendste Sortiment an Standardkunststoff- und kundenspezifischen Halbzeugen für den Markt der spanenden Bearbeitung. Die Produkte werden über ein weltweites Netz eigener Niederlassungen, technischer Servicezentren und autorisierter Handelspartner vertrieben.
Weitere Informationen über Quadrant EPP sind unter www.quadrantplastics.com im Internet erhältlich.
Über die Quadrant-Gruppe
Mit Standorten in 18 Ländern erzielt Quadrant als global führender Hersteller von hochwertigen thermoplastischen Werkstoffen in Form von Halbzeugen und Fertigteilen einen Jahresumsatz von über CHF 800 Millionen. Die von weltweit mehr als 2.400 Mitarbeitern hergestellten und vertriebenen technischen Kunststoffe und Composites sind Metallen und anderen Werkstoffen bezüglich ihres Leistungsprofils überlegen und werden in einer zunehmenden Anzahl von Anwendungen vorwiegend in der Investitionsgüterindustrie eingesetzt. Zusammen mit Marktführern aus verschiedensten Kundenmärkten entwickelt Quadrant laufend neue Anwendungsgebiete. Mit ihrer klaren strategischen Fokussierung und Ausrichtung erzielt Quadrant seit der Gründung im Jahr 1996 nachhaltige Mehrwerte für Kunden und Aktionäre und ist bestens gerüstet, ihre führende Marktstellung auch in Zukunft weiter auszubauen.
