GEs Geschäftsbereich für Quarzmaterialien und -produkte bietet Halbleiterausrüstungsherstellern spezifische Wafer-Heizeinheiten an

BERGEN OP ZOOM, NIEDERLANDE — 26. September 2005 — GEs Geschäftsbereich für Quarzmaterialien und -produkte gab heute die Einführung einer integrierten Plattform für Heizeinheiten im neuen Labor des Unternehmens im japanischen Kobe bekannt, die die Leistungsoptimierung von Heizeinheiten und elektrostatischen Trägersystemen (Chucks) bei Chipherstellungsvorrichtungen unterstützen soll. Diese spezifischen Einheiten stellen ein wesentliches Untersystem der Wafer-Kammern von Halbleiterausrüstungsherstellern dar und verbinden kundenspezifische Maschinen-, Elektro- und Wärmetechnik mit GEs fortschrittlichen mittels CVD-Verfahren behandelten Keramikheizeinheiten und E-Chucks. Durch Berücksichtigung der thermischen, mechanischen, elektrischen und Plasma-Randbedingungen entsprechender OEM-Kammern ist durch GEs neues integriertes Designverfahren eine Leistungsoptimierung des gesamten Systems möglich.

„GE hat eine neue Plattform für Heizeinheiten entwickelt, bei der wesentliche Kundenanforderungen berücksichtigt wurden“, so Chris Intihar, GE Produktmanager für den Bereich Wafer-Bearbeitung. „GEs Geschäftsbereich für Quarzmaterialien und -produkte ist das einzig bekannte Unternehmen, das eine entsprechende Vorwärtsintegration anbietet, durch die Halbleiterausrüstungsherstellern eine Leistungsoptimierung der gesamten Wafer-Kammer sowie eine Maximierung ihrer internen technischen Ressourcen ermöglicht wird. Unser Labor in Kobe verfügt über modernste Design- und Testeinrichtungen, und unsere Kunden werden bei sämtlichen Projekten von unserem engagierten Technologie-Team unterstützt. Zur Beschleunigung dieses iterativen Designprozesses setzen wir die umfangreichen Kenntnisse von GEs globalem Forschungszentrum in Niskayuna, N.Y., in Bezug auf Keramikmaterialien sowie die außerordentlichen Fähigkeiten unseres Teams in GEs John F. Welch Technologie-Zentrum in Bangalore, Indien, was Simulation in frühen Konstruktionsphasen und Modellierungen betrifft, ein. Unser US-Werk, das zur weltweiten Zentrale in Strongsville, Ohio, gehört sowie unser japanisches Werk in der Nähe der Stadt Himeji, spielen beim Design- und Fertigungsprozess ebenfalls eine wichtige Rolle.“

GEs Technologie-Team in Kobe wird komplette Heizeinheiten bereitstellen, die spezifische Heizungen, E-Chucks sowie Quarzmaterialien nach Industrienorm umfassen. GEs Heizeinheiten und E-Chucks sind mechanisch und thermisch robuster als Alternativen aus gesintertem Keramikmaterial und ermöglichen eine Temperaturanstiegsgeschwindigkeit von über 10°C/Sekunde bei maximalen Temperaturen von bis zu 1.300°C sowie eine präzise Temperaturregelung, die gewöhnlich in einem Bereich von +/- 1 Prozent liegt. Diese Vorteile hinsichtlich der Materialleistung ermöglichen OEMs von Halbleiterausrüstung eine höhere Durchsatzleistung, eine größere Prozessflexibilität sowie eine erhöhte Wafer-Effizienz.

Das im internationalen Geschäftszentrum in Kobe befindliche Labor ist mit einem Reinraum der Klasse 1000 (entsprechende Partikelgröße: 0,3 Mikrometer) bzw. der Klasse 100 (entsprechende Partikelgröße: 0,5 Mikrometer), einer Wärmemodellierungseinrichtung, zwei Versuchsräumen, in denen Plasma erzeugt und elektrostatische Anpresskraft gemessen werden kann sowie mit mehreren Anschlüssen für die Heizeinheiten und Infrarot-Kameras ausgestattet.

Das neue Labor wurde am 1. Juli 2005 offiziell eröffnet.

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Hinweise für Redakteure

Weitere Informationen zu GEs Geschäftbereich für Quarzmaterialien und -produkte

Dieser Geschäftsbereich von GE ist weltweit führend in der Entwicklung und Herstellung von Materialien und Produkten aus Quarzglas für die Halbleiter-, Glasfaser- und Beleuchtungsindustrie. Außerdem handelt es sich hierbei um einen führenden globalen Lieferanten von fortschrittlichen Keramikmaterialien, Bornitrid- und Titandiboridpulvern, heißgepressten Bornitrid- und Verbundformen, Bornitrid-Beschichtungen sowie von Produkten aus pyrolytischem Bornitrid und Grafit für Anwendungen, die von Halbleitern, elektronischen Materialien und Körperpflege über Materialverarbeitung bis hin zu fortgeschrittenen Technologieanwendungen reichen.

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GE Advanced Materials (www.geadvancedmaterials.com) ist ein weltweit führender Anbieter von technisch höchst fortschrittlichen Werkstofflösungen. Die Unternehmenszentrale befindet sich in Pittsfield, Mass., und die GE-Geschäftsbereiche umfassen: Plastik, Silikone, Quarz, Automobilindustrie, Spezialfilme & -platten, Polymerformen sowie Dichtungs- und Haftmittel.

GE (NYSE: GE) unterstützt die Initiative „Imagination at Work“ – es ist ein diversifiziertes Unternehmen für Technologie, Medien und Finanzdienstleistungen, das sich auf die Lösung einiger der größten Probleme der Welt konzentriert. Mit Produkten und Dienstleistungen von Flugzeugtriebwerken, Energieerzeugung, Wasseraufbereitung und Sicherheitstechnologie zu medizinischer Bildgebung, Unternehmens- und Konsumentenfinanzierung, Medieninhalten und fortschrittlichen Werkstofflösungen bedient GE Kunden in über 100 Ländern und beschäftigt weltweit mehr als 300.000 Mitarbeiter. Weitere Informationen finden Sie auf der General Electrics Website unter www.ge.com.