GE Quartz produrrà gruppi riscaldatori su misura per wafer, destinati ai produttori di apparecchiature per semiconduttori

BERGEN OP ZOOM, PAESI BASSI – 26 settembre 2005 - Per ottimizzare le prestazioni dei riscaldatori e dei mandrini elettrostatici nelle apparecchiature per la produzione di chip, GE Quartz ha presentato oggi una piattaforma integrata per gruppi riscaldatori, con sede nel nuovo laboratorio di Kobe, in Giappone. Tali gruppi riscaldatori su misura, che costituiscono un importante sottosistema delle camere per wafer utilizzate dai produttori di apparecchiature per semiconduttori, uniscono le funzionalità di ingegneria meccanica, elettrica e termica specifiche per ogni cliente e gli avanzati mandrini elettrostatici e riscaldatori in ceramica CVD (Chemical Vapor Deposited) di GE. Considerando le condizioni inerenti al plasma e di tipo termico, meccanico ed elettrico della camera OEM, il nuovo processo integrato di progettazione di GE consente di ottimizzare le prestazioni dell'intero sistema.

Secondo Chris Intihar, Product Manager della divisione Wafer Processing di GE, “La nuova piattaforma per gruppi riscaldatori di GE è stata progettata tenendo conto delle esigenze dei clienti. “ GE Quartz è l'unica società a fornire soluzioni avanzate di integrazione che consentono ai produttori di apparecchiature per semiconduttori di migliorare le prestazioni dell'intera camera per wafer, massimizzando allo stesso tempo le risorse ingegneristiche interne. I nostri laboratori con sede a Kobe offrono sofisticate capacità di progettazione e testing e un team di personale tecnico in grado di assistere i clienti nel portare rapidamente a termine i loro progetti. Per accelerare tale processo iterativo di progettazione, vengono sfruttate l'approfondita conoscenza dei materiali ceramici del Global Research Center di Niskayuna, N.Y., e le avanzate capacità predittive di ingegneria e modellazione del team GE del John F. Welch Technology Center di Bangalore, in India. La nostra sede principale di Strongsville, Ohio, e il sito giapponese vicino a Himeji City giocano anch'essi un ruolo di primo piano nel processo di progettazione e di produzione.”

Il team tecnico GE di Kobe fornirà gruppi riscaldatori completi, dotati di riscaldatori su misura, mandrini elettrostatici e materiali di quarzo standard nel settore. I riscaldatori e i mandrini elettrostatici di GE sono più robusti, dal punto di vista meccanico e termico, rispetto alle alternative in ceramica sinterizzata. Infatti consentono velocità di rampa della temperatura superiori a 10 °C/secondo, con temperature massime fino a 1.300 °C e un controllo preciso della temperatura stessa, con un margine di +/- 1 percento. I vantaggi derivanti dalle prestazioni dei materiali comportano aumentata produttività, maggiore flessibilità dell'intero processo e miglior rendimento dei wafer nelle camere OEM utilizzate per le apparecchiature per semiconduttori.

La struttura di Kobe, situata nel Kobe International Business Center, è dotata di una camera bianca classe 1000 (stabilita per particelle da 0.3 micron) o classe 100 (stabilita per particelle da 0.5 micron), capacità di modellazione termica, due camere di testing in grado di generare plasma e di misurare la forza elettrostatica di bloccaggio, alimentazione per più riscaldatori e camere a infrarossi.

Il nuovo laboratorio è stato inaugurato ufficialmente il 1° luglio 2005.

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