GE Quartz propose de nouveaux éléments chauffants personnalisés pour plaquettes, destinés aux fabricants d’équipements semi-conducteurs

BERGEN OP ZOOM, PAYS-BAS — 26 septembre 2005 — Pour aider à optimiser les performances des éléments thermiques et des supports électrostatiques dans les équipements de fabrication de puces, GE Quartz annonce le lancement d’une plate-forme chauffante intégrée conçue dans son nouveau laboratoire de Kobe, au Japon. Ces plates-formes personnalisées, composants essentiels des chambres à plaquettes pour les fabricants d’équipements semi-conducteurs, combinent une conception mécanique, électrique et thermique spécifique à chaque client avec les supports électrostatiques et les éléments thermiques en céramique à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de pointe proposés par GE. En tenant compte des limites thermiques, plasmiques, mécaniques et électriques de la chambre de l’OEM, le nouveau processus de conception intégrée de GE aide à optimiser les performances du système complet.

Chris Intihar, responsable produit « Wafer Processing » chez GE, déclare : « GE a conçu une nouvelle plate-forme chauffante adaptée aux besoins de ses clients. GE Quartz est le seul fournisseur qui propose une intégration aval permettant aux fabricants d’équipements d'améliorer les performances de leur chambre à plaquettes toute entière, tout en les aidant à maximiser leurs ressources techniques internes. Notre laboratoire de Kobe offre des possibilités de conception et de test sophistiquées et une équipe technologique dédiée pour aider les clients à mener leurs projets à bien. Pour accélérer ce procédé de développement itératif, nous exploitons notre savoir-faire dans les céramiques, acquis au sein du centre mondial de recherche GE de Niskayuna (New York - USA), et les capacités de modélisation et d'ingénierie prédictive de pointe de notre équipe du centre technologique John F. Welch GE à Bangalore, en Inde. Notre usine américaine, située au sein de notre siège mondial de Strongsville (Ohio), et notre usine japonaise proche de Himeji jouent également un rôle prépondérant dans le processus de conception et de fabrication. »

L’équipe technologique de GE à Kobe fournira des éléments chauffants complets constitués d'éléments thermiques personnalisés, de supports électrostatiques et de ses matériaux standard à base de quartz. Les éléments thermiques et les supports électrostatiques GE sont mécaniquement et thermiquement plus robustes que leurs équivalents en céramique frittée. Ils permettent des rampes de température de plus de 10 °C/seconde et des températures atteignant 1 300 °C, ainsi qu'un contrôle précis de la température, généralement avec une marge de +/- 1 %. Les performances de ces matériaux offrent une productivité supérieure, une plus grande souplesse des processus et de meilleurs rendements des plaquettes pour les OEM fabriquant des équipements pour les semi-conducteurs.

Le laboratoire du centre d’activité international de Kobe est équipé d’une salle blanche de classe 1000 (avec un niveau de particule de 0,3 micron) ou classe 100 (avec un niveau de particule de 0,5 micron), d’un équipement de modélisation thermique, de deux chambres d'essais capables de générer du plasma et de mesurer la force de fermeture électrostatique, de plusieurs alimentations électriques pour éléments thermiques et de caméras infrarouge.

Ce nouveau laboratoire a été inauguré le 1er juillet 2005.

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Notes aux journalistes

À propos de GE Quartz

GE Quartz est un acteur mondial prépondérant dans le développement et la fabrication de matériaux et produits en quartz fondu destinés aux industries des semi-conducteurs, de la fibre optique et de l’éclairage. Cette branche est également l’un des premiers fournisseurs mondiaux de poudres de céramique, nitrure de bore et diborure de titane de pointe, de formes de nitrure de bore et composites pressées à chaud, de revêtements de nitrure de bore et de produits en nitrure de bore pyrolytique et graphite destinés aux applications des domaines des semi-conducteurs, des matériaux électroniques, de la santé, du traitement des matériaux et d’autres technologies de pointe.

À propos de GE Advanced Materials

GE Advanced Materials (www.geadvancedmaterials.com) est l'un des principaux fournisseurs mondiaux de solutions matière haute technologie. Implantée à Pittsfield (Massachusetts - USA), cette société compte plusieurs divisions parmi lesquelles GE Plastics, GE Silicones, GE Quartz, GE Automotive, GE Advanced Materials Specialty Film & Sheet, GE Polymershapes et GE Sealants and Adhesives.

GE (NYSE : GE) est une société diversifiée de services financiers, technologiques et de communication, qui se consacre à la création de produits pour aider à résoudre de nombreux problèmes de la vie actuelle. Des moteurs d'avion et de la génération d'électricité aux services financiers en passant par le traitement de l'eau, les systèmes de sécurité, l'imagerie médicale, lesmultimédias et les matériaux de pointe, GE est présent dans plus de 100 pays et emploie plus de 300 000 personnes dans le monde. Pour plus d'informations, visitez le site Internet de la société à l'adresse suivante : http://www.ge.com/france.